羅茨真空機組的特點是：1．轉子與泵腔、轉子與轉子之間有一定的間隙，互不接觸，不需要用油潤滑。2．轉子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉速，從而能夠制造出結構緊湊的大抽速泵來。3．泵工作時振動小，容積大，容積利用系數(shù)＝0.5左右。4．在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此它不需要排氣閥。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。5．啟動快，能夠在短時間內(nèi)達到極限真空。功率小，運轉維護費用低。6．羅茨泵在很寬的壓力范圍內(nèi)（1000P a～1P a）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在（1000Pa～1Pa）時抽速都很小的缺陷。因此，它適合作增壓泵用。